Die Prüfung gliedert sich in die Prüfungsteile:
- 1.
Betriebliche Mikrotechnologie-Prozesse, - 2.
Mikrotechnologie-Fachaufgaben, - 3.
Mitarbeiterführung und Personalmanagement.
Die einzelnen Prüfungsteile können in beliebiger Reihenfolge geprüft werden; dabei ist mit dem letzten Prüfungsteil spätestens zwei Jahre nach dem ersten Prüfungstag des ersten Prüfungsteils zu beginnen.